仪器名称：扫描电子显微镜系统

仪器编号：

仪器型号：EVO LS 15

单    价： 207.65万元 (RMB)

购置日期： 2015-11-19

购置厂家：德国卡尔蔡司公司

仪器负责人：焦养泉

联系方式：13607178005

样品测试负责人：乐亮、荣辉

联系方式：13018063864、18971615672

技术指标：

  分辨率:

     低真空，3.5nm 30kV,SE（VP模式）， 4.5nm 30kV,BSD（VP模式）

     高真空，3nm 30kV,SE ， 10nm 3kV,SE ， 20nm 1kV,SE

  放大倍数：500x倍率误差±1％          加速电压：0.2-30kV

  灯丝：钨灯丝                         探针速流：0.5pA-5μA连续可调

  放大倍数：5-1000000x                 视场：6mm在分析工作距离时（AWD）

  OptiBeam模式：包括高分辨，大景深，分析，大视场，鱼眼

  压力范围：10-400Pa氮气或空气，可选水蒸气压力至3000Pa

  最大样品高度：145mm

  图像采集：可达3072x2304像素，用积分和平均方式进行信号采集。

实验室配备有EVO LS 15扫描电子显微镜、Aztec X-Max 20能谱仪、Axio Scope A1光镜和Cressington 108 Auto离子溅射仪。扫描电镜系统配有高真空和低真空模式，可在所有真空条件下对各种样品（包括导电样品和不导电样品等）进行二次电子、背散射电子的静态、动态观察和微观分析；EDS用于微区成分分析，分析元素范围是Be4～Cf98，并具备点、线、面分析，面分布和Feature分析等功能；其中点分析可以任意圈定区域，光电联用设备可通过光镜寻找到感兴趣的区域，然后通过共享样品台和硬件，在扫描电镜下直接对所要观察的区域进行综合分析。该仪器设备广泛应用于地质、材料、冶金、化学、环境和生物等学科领域，同时实现高分辨率形貌观察和微区成分分析。