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T8、扫描电子显微镜系统

仪器名称:扫描电子显微镜系统
仪器编号:

      扫描电子显微镜系统
仪器型号:EVO LS 15
单    价: 207.65万元 (RMB)
购置日期: 2015-11-19
购置厂家:德国卡尔蔡司公司
仪器负责人:焦养泉
联系方式:13607178005
样品测试负责人:乐亮、荣辉
联系方式:13018063864、18971615672
技术指标:
  分辨率:
     低真空,3.5nm 30kV,SE(VP模式), 4.5nm 30kV,BSD(VP模式)
     高真空,3nm 30kV,SE , 10nm 3kV,SE , 20nm 1kV,SE
  放大倍数:500x倍率误差±1%          加速电压:0.2-30kV
  灯丝:钨灯丝                         探针速流:0.5pA-5μA连续可调
  放大倍数:5-1000000x                 视场:6mm在分析工作距离时(AWD)
  OptiBeam模式:包括高分辨,大景深,分析,大视场,鱼眼
  压力范围:10-400Pa氮气或空气,可选水蒸气压力至3000Pa
  最大样品高度:145mm
  图像采集:可达3072x2304像素,用积分和平均方式进行信号采集。
主要功能及应用领域:

实验室配备有EVO LS 15扫描电子显微镜、Aztec X-Max 20能谱仪、Axio Scope A1光镜和Cressington 108 Auto离子溅射仪。扫描电镜系统配有高真空和低真空模式,可在所有真空条件下对各种样品(包括导电样品和不导电样品等)进行二次电子、背散射电子的静态、动态观察和微观分析;EDS用于微区成分分析,分析元素范围是Be4~Cf98,并具备点、线、面分析,面分布和Feature分析等功能;其中点分析可以任意圈定区域,光电联用设备可通过光镜寻找到感兴趣的区域,然后通过共享样品台和硬件,在扫描电镜下直接对所要观察的区域进行综合分析。该仪器设备广泛应用于地质、材料、冶金、化学、环境和生物等学科领域,同时实现高分辨率形貌观察和微区成分分析。